Verstehen des Plasmaverhaltens gewährleistet Stabilität

@Plasma systeme werden oft nach Ergebnissen beurteilt. Wenn die Oberflächenbehandlung einheitlich aussieht oder die Abscheiderate den Erwartungen entspricht, wird der Prozess als erfolgreich angesehen. Was im Plasma selbst passiert, wird häufig als sekundär behandelt, etwas, das abgeleitet, aber nicht verstanden wird. Dieser Ansatz funktioniert, bis sich die Bedingungen ändern. Wenn die Leistung abweicht oder unerwartetes Verhalten auftritt, wird der Mangel an Erklärung zu einer echten Einschränkung.
Die traditionelle Plasmasteuerung konzentriert sich auf Sollwerte und Ausgaben. Leistung, Druck und Gasfluss werden angepasst, um akzeptable Ergebnisse zu erzielen, aber der interne Zustand des Plasmas bleibt weitgehend undurchsichtig. Wenn Abweichungen auftreten, verlassen sich Ingenieure auf Erfahrung und Versuch und Irrtum, um die Stabilität wiederherzustellen. Das System reagiert, erklärt jedoch nicht.