comprendre le comportement du plasma pour assurer la stabilité

@Plasma systèmes sont souvent jugés par les résultats. Si le traitement de surface semble uniforme ou si le taux de dépôt répond aux attentes, le processus est considéré comme réussi. Ce qui se passe à l'intérieur du plasma lui-même est souvent traité comme secondaire, quelque chose d'inféré plutôt que compris. Cette approche fonctionne jusqu'à ce que les conditions changent. Lorsque la performance dérive ou qu'un comportement inattendu apparaît, le manque d'explication devient une réelle limitation.
Le contrôle traditionnel du plasma se concentre sur les points de consigne et les sorties. La puissance, la pression et le débit de gaz sont ajustés pour maintenir des résultats acceptables, mais l'état interne du plasma reste largement opaque. Lorsque des écarts se produisent, les ingénieurs s'appuient sur l'expérience et l'essai-erreur pour restaurer la stabilité. Le système réagit, mais il n'explique pas.