понимание поведения плазмы обеспечивает стабильность

@Plasma sистемы часто оцениваются по результатам. Если обработка поверхности выглядит однородной или скорость осаждения соответствует ожиданиям, процесс считается успешным. То, что происходит внутри самой плазмы, часто рассматривается как второстепенное, нечто, что подразумевается, а не понимается. Этот подход работает до тех пор, пока условия не изменятся. Когда производительность отклоняется или появляются неожиданные поведения, отсутствие объяснения становится реальным ограничением.
Традиционное управление плазмой сосредоточено на установленных точках и выходах. Мощность, давление и поток газа регулируются для поддержания приемлемых результатов, но внутреннее состояние плазмы остается в значительной степени непрозрачным. Когда происходят отклонения, инженеры полагаются на опыт и метод проб и ошибок, чтобы восстановить стабильность. Система реагирует, но не объясняет.