hiểu hành vi plasma đảm bảo sự ổn định

@Plasma hệ thống thường được đánh giá qua kết quả. Nếu quá trình xử lý bề mặt trông đồng nhất hoặc tỷ lệ lắng đọng đáp ứng mong đợi, quy trình được coi là thành công. Những gì xảy ra bên trong plasma thường được coi là thứ yếu, điều gì đó được suy luận hơn là hiểu rõ. Cách tiếp cận này hiệu quả cho đến khi điều kiện thay đổi. Khi hiệu suất trượt hoặc hành vi bất ngờ xuất hiện, sự thiếu giải thích trở thành một hạn chế thực sự.
Kiểm soát plasma truyền thống tập trung vào các điểm thiết lập và đầu ra. Công suất, áp suất và lưu lượng khí được điều chỉnh để duy trì kết quả chấp nhận được, nhưng trạng thái bên trong của plasma vẫn chủ yếu không rõ ràng. Khi có sự sai lệch xảy ra, các kỹ sư dựa vào kinh nghiệm và thử nghiệm để khôi phục sự ổn định. Hệ thống phản ứng, nhưng nó không giải thích.